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本发明提供一种测量误差小的光学元件亚表面缺陷的检测装置及其方法。光学元件亚表面缺陷的检测装置，包括显微镜、精密位移平台、与显微镜连接的图像数据处理单元，在所述图像数据处理单元上还连接有激光位移传感器，所述激光位移传感器用于测量精密位移平台在...
该专利属于成都精密光学工程研究中心所有，仅供学习研究参考，未经过成都精密光学工程研究中心授权不得商用。

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