下载一种用于超透镜的十微米级非晶硫系薄膜的制备方法的技术资料

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本发明公开了一种用于超透镜的十微米级非晶硫系薄膜的制备方法,特点包括:开启电子束热蒸发沉积系统,将需要蒸镀的材料装入有蒸发孔的坩埚中的步骤;对腔室进行抽真空直至腔室气压低于6.6*10<supgt;‑4</supgt;Pa后,开...
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