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本发明涉及基于散射光的光子集成电路监控器、监控系统及监控方法,揭示一种光子集成电路(PIC)结构,其包括基于散射光的监控器,该监控器具有邻近波导芯的端部(也就是,耦合器)的一侧或两侧设置的光检测器(例如,PIN及/或雪崩光电二极管),该端部...该专利属于格芯(美国)集成电路科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过格芯(美国)集成电路科技有限公司授权不得商用。
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本发明涉及基于散射光的光子集成电路监控器、监控系统及监控方法,揭示一种光子集成电路(PIC)结构,其包括基于散射光的监控器,该监控器具有邻近波导芯的端部(也就是,耦合器)的一侧或两侧设置的光检测器(例如,PIN及/或雪崩光电二极管),该端部...