下载芯片封装系统的技术资料

文档序号:40106790

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本发明涉及芯片封装技术领域,尤其是一种芯片封装系统,包括预热装置、保温装置、烧结装置、冷却装置、烧结搬运装置以及移载装置,预热装置具有预热台、加热单元及热压单元,保温装置至少具有两个保温台,冷却装置具有冷压单元及至少具有两个冷却台,其通过保...
该专利属于江苏快克芯装备科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏快克芯装备科技有限公司授权不得商用。

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