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本发明涉及一种用于半导体制造的防流延阀，包括阀体组件及安装在阀体组件上的防流延组件；阀体组件包括从下至上密封连接在一起的阀体、腔体和端盖；阀体包括主体和连接在主体左右两端且贯通的连接端，端盖设有与其内部贯通的第二气连接端；防流延组件包括膜片...
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