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一种以式（ａ）表示的盐，其中Ｑ１和Ｑ２各自独立地表示氟原子等，Ｘ１表示单键等，Ｘ２表示单键等，Ｙ１表示Ｃ３－Ｃ３６脂环族烃基等，条件是－Ｘ２－Ｙ１基团具有一个或多个氟原子，并且Ｚ＋表示有机抗衡阳离子，以及一种光致抗蚀剂组合物，其含有以式（ａ...
该专利属于住友化学株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过住友化学株式会社授权不得商用。

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