下载芯片防翘曲机构的技术资料

文档序号:40105063

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本技术涉及芯片封装技术设备领域,本技术公开一种芯片防翘曲机构,包括压制结构和承接结构,压制结构包括横向压板和纵向压板,承接结构包括位于压制结构下方的基板放置槽,基板放置槽内设有抽真空腔体,横向压板和纵向压板之间垂直连接,基板放置槽槽底设有抽...
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