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一种电场驱动柔性辊纳米压印光刻方法，采用柔性导电模具作为压印模板，柔性导电模具的一段固定在滚轴上，其余部分顺势缠绕在滚轴上，另一端固定在承载台上，使柔性导电模具自然下垂成摊铺状态，表现为柔性辊的形式；电压施加在柔性导电模具和衬底上，并为压印...
该专利属于西安交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安交通大学授权不得商用。

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