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本发明涉及一种浮雕斜齿光栅的加工方法。在清洗干净的晶圆衬底上旋涂高分子聚合物抗蚀剂层；对高分子聚合物抗蚀剂层进行倾斜变剂量曝光，形成与所述的晶圆衬底表面倾斜设置的光栅结构，采用PVD真空镀膜技术在带光栅结构的晶圆衬底表面上沉积第一金属膜层；...
该专利属于福建福特科光电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过福建福特科光电股份有限公司授权不得商用。

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