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半导体装置和晶体管的制造方法制造方法及图纸
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文档序号:40103300
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本发明涉及半导体装置和晶体管的制造方法。一个实施方式的目的之一是对包括氧化物半导体的半导体装置赋予稳定的电特性,以实现高可靠性化。一种半导体装置的制造方法,包括如下步骤:形成第一绝缘膜;在第一绝缘膜上形成源电极及漏电极以及与源电极及漏电极电...
该专利属于株式会社半导体能源研究所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社半导体能源研究所授权不得商用。
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