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一种精度优于10纳米的太赫兹近场成像系统测量方法，利用太赫兹近场成像中太赫兹波穿透成像，逐点扫描后太赫兹波可以穿透内部并反馈到外部进行接收成像，摆脱太赫兹近场成像中探针针尖成像限制系统成像精度的问题，根据太赫兹波逐点扫描成像的原理，选择固定...该专利属于合肥综合性国家科学中心能源研究院（安徽省能源实验室）所有，仅供学习研究参考，未经过合肥综合性国家科学中心能源研究院（安徽省能源实验室）授权不得商用。