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本发明提供一种半导体存储器件及其制造方法,该器件在由6个MOS晶体管所构成的静态型存储器单元中,所述MOS晶体管具有如下构造:形成于基板,且漏极、栅极、源极配置于垂直方向,且栅极包围柱状半导体层。所述基板具备:具有第1导电型的第1活性区域及...该专利属于日本优尼山帝斯电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日本优尼山帝斯电子株式会社授权不得商用。
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本发明提供一种半导体存储器件及其制造方法,该器件在由6个MOS晶体管所构成的静态型存储器单元中,所述MOS晶体管具有如下构造:形成于基板,且漏极、栅极、源极配置于垂直方向,且栅极包围柱状半导体层。所述基板具备:具有第1导电型的第1活性区域及...