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分断装置及分断方法制造方法及图纸
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文档序号:4010267
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本发明涉及一种分断装置及分断方法。本发明可以对形成着切划线的基板施加均匀之力而准确地进行分断。将基板保持在平台22上,使基板向平台22的侧方突出并利用定位部30将其定位。然后利用夹持单元40来固定基板23在平台上的部分。接着使用分断单元50...
该专利属于三星钻石工业股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过三星钻石工业股份有限公司授权不得商用。
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