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本发明公开了一种基于光频域反射的等离子气体温度测量装置及方法，涉及射频等离子体实验诊断技术领域，该装置包括：真空腔室、光纤温度传感器、石英管、陶瓷板、OFDR系统和计算机；陶瓷板位于真空腔室的基片台上，光纤温度传感器位于陶瓷板上，且位于真空...
该专利属于大连理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过大连理工大学授权不得商用。

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