下载外延片、外延片制作方法及色转换结构制作方法的技术资料

文档序号:40099505

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本发明公开一种外延片、外延片制作方法及色转换结构制作方法,外延片包括生长衬底以及生长在生长衬底上的外延层,外延层设置为,外延层靠近生长衬底的一侧的载流子浓度较远离生长衬底的一侧的载流子浓度低,采用电化学腐蚀法腐蚀外延层时,当电极搭在外延层远...
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