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本技术提供一种晶圆平边寻边对准装置，其在基板上设置有晶圆载台，晶圆载台相对的两侧分别设置有限位夹块和定位夹块，定位夹块的弧形凹边的中部为直边；光电开关的感应部设置于定位夹块的直边位置，通过限位夹块和定位夹块配合晶圆载台的旋转配合，实现置于晶...
该专利属于江西兆驰半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江西兆驰半导体有限公司授权不得商用。

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