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一种良品率高的晶圆加工方法技术
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下载一种良品率高的晶圆加工方法的技术资料
文档序号:40097309
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本发明涉及晶圆加工技术领域,且公开了一种良品率高的晶圆加工方法,包括以下步骤:S1:晶圆加工,对硅料进行掏圆加工,获得圆柱形硅料,对圆柱形硅料的端面进行铣磨加工,使圆柱形硅料的端面平整,然后以圆柱形物料的端面为定位基准面,绕圆柱形物料的轴线...
该专利属于南京宽能半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南京宽能半导体有限公司授权不得商用。
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