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一种去除微纳结构中溶剂的方法技术
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文档序号:4009698
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一种去除微纳结构中溶剂的方法,步骤为:(1)在基片上制作微纳结构,利用旋涂工艺在基片上旋涂光刻胶,然后采用光刻工艺在基片材料上得到所需高度的光刻胶结构,也可利用刻蚀工艺将光刻胶结构再转移到基片上,获得所需高度的基片材料微纳结构;(2)将完成...
该专利属于中国科学技术大学所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学技术大学授权不得商用。
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