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本发明涉及一种闸门阀和包括其的衬底处理装置。本发明提供一种衬底处理装置，其包含：沿一第一方向安置的多个模块，所述多个模块中的每一者具有一可容纳一衬底的内部空间；一在所述多个模块之间传递衬底的传递单元，所述传递单元包括至少一个沿所述第一方向安...该专利属于周星工程股份有限公司;阿西斯自动系统股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过周星工程股份有限公司;阿西斯自动系统股份有限公司授权不得商用。