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本发明公开了一种半导体器件及其制备方法，制备方法包括：提供电路基板、透光基板和超透镜；电路基板包括半导体衬底和电路层；透光基板包括透明衬底和信号传输层；在电路层远离半导体衬底的一侧表面沉积第一氧化层；图形化第一氧化层，并在第一氧化层形成第一...
该专利属于上海芯物科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海芯物科技有限公司授权不得商用。

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