下载一种提取隧穿场效应晶体管参数的方法的技术资料

文档序号:40095002

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本发明公开了一种提取隧穿场效应晶体管参数的方法,属于半导体技术领域。该方法用半导体参数分析仪测量N型或P型DL<subgt;und</subgt;‑TFET器件的栅电容,进而得到N型或P型DL<subgt;und</...
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