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本发明提供了一种薄膜检测方法、一种薄膜检测系统及一种计算机可读存储介质。所述薄膜检测方法包括以下步骤：获取待测样本的基底弹性模量、基底泊松比、基底厚度，以及所述待测样本表面至少一个预设位置镀膜前的第一曲率半径；获取所述待测样本表面的薄膜厚度...
该专利属于睿励科学仪器（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过睿励科学仪器（上海）有限公司授权不得商用。

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