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盐以及含有该盐的光致抗蚀剂组合物制造技术
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下载盐以及含有该盐的光致抗蚀剂组合物的技术资料
文档序号:4009410
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本发明提供:一种以式(I-CC)表示的盐,其中Q1和Q2各自独立地表示氟原子等,X1表示单键等,Y1表示C1-C36脂族烃基等,A1和A2各自独立地表示C1-C20脂族烃基等,Ar1表示可以具有一个或多个取代基的(m4+1)价C6-C20芳...
该专利属于住友化学株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过住友化学株式会社授权不得商用。
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