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基于精密电铸三维互联金属微电极阵列及一体化成型方法技术
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下载基于精密电铸三维互联金属微电极阵列及一体化成型方法的技术资料
文档序号:40093690
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一种基于精密电铸三维互联金属微电极阵列及一体化成型方法,包括柔性膜衬底,柔性膜衬底正面制备有金属电极阵列,柔性膜衬底背面制备有金属引线,金属引线通过互联微电极结构和金属电极阵列连接;一体化成型方法是先清洗柔性膜衬底,再用提拉法对柔性膜衬底正...
该专利属于西安交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安交通大学授权不得商用。
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