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一种具有优化布拉格结构的体声波谐振器及其制备方法技术
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下载一种具有优化布拉格结构的体声波谐振器及其制备方法的技术资料
文档序号:40093628
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本发明公开了一种具有优化布拉格结构的体声波谐振器及其制备方法;该体声波谐振器,包括依次层叠设置的衬底、布拉格反射栅、底电极、压电层和顶电极。所述的布拉格反射栅包括依次交替层叠设置的多个高声阻抗层和多个低声阻抗层;底电极与低声阻抗层接触。低声...
该专利属于杭州电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过杭州电子科技大学授权不得商用。
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