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描述了一种从静电吸盘最优化释放晶片的系统和方法。监测提升销结构上的力并且基于所述力确定释放电压。以所确定的释放电压释放晶片。...
该专利属于因特瓦克公司所有，仅供学习研究参考，未经过因特瓦克公司授权不得商用。

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