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根据本发明的一个方面，本发明的高度扩展性扩散偶产生装置包括转移腔室，转移腔室配置为可将晶圆装载到处理腔室中。处理腔室配置为接收来自转移腔室的晶圆基板。处理腔室包括用于在晶圆上生长扩散材料的腔室。可加热底盘包括第一加热机构。可加热底盘固定不动...
该专利属于迪斯尼2D公司所有，仅供学习研究参考，未经过迪斯尼2D公司授权不得商用。

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