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本发明提供一种离子注入机掉片监控装置以及方法。所述装置包括：托盘，用于放置晶圆；温度检测单元，朝向所述托盘放置，用于监控所述托盘上放置晶圆的位置的温度；以及判断单元，与所述温度检测单元连接，接收温度检测单元监控获得的温度值，当放置晶圆的一位...
该专利属于上海超硅半导体股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海超硅半导体股份有限公司授权不得商用。

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