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本发明涉及硅片生产技术领域，具体涉及一种硅片清洗系统，主要包括第一漂洗槽、药水槽、第二漂洗槽、溢流清洗槽、慢提拉装置、烘干装置和下料机构。在药水槽环节，溢流槽道布置于药剂槽体的顶部，便于连接形成循环水路的药剂进水管、药剂出水管、药剂泵和过滤...
该专利属于东莞市鼎力自动化科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东莞市鼎力自动化科技有限公司授权不得商用。

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