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本发明公开了一种晶圆定位装置及其定位方法，其中一种包括机体，包括机体，所述机体上安装有用于定位晶圆缺口的晶圆定位装置；所述晶圆定位装置包括固定在机体顶部的盒体，所述盒体的顶部设有用于承载晶圆的载料台，所述盒体内部安装有内用于驱动载料台旋转和...
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