下载一种硅片传输机构及传输方法的技术资料

文档序号:40083447

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种硅片传输机构及传输方法,包括:传输模组、取片模组和缓存模组;取片模组包括一体成型的取片区和放片区,用于实现取片和放片;取片模组设置在传输模组顶部,传输模组用于带动取片模组往复移动,以进行取片和放片;缓存模组对称设置在传输模组...
该专利属于湖南红太阳光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过湖南红太阳光电科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。