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一种高效快速制备三维原子探针样品的方法技术
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文档序号:40083130
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本发明属于材料制备领域,具体涉及一种高效快速制备三维原子探针样品的方法。包括如下步骤:步骤1:将块状材料放置于样品台,在块状材料上表面,沿感兴趣区域沉积Pt层;步骤2:提取类三棱柱长条样品:采用大电流聚焦离子束,快速去除感兴趣区域周围材料,...
该专利属于南京理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京理工大学授权不得商用。
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