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用于支持剥离的设备以及使用该设备的剥离方法技术
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下载用于支持剥离的设备以及使用该设备的剥离方法的技术资料
文档序号:40082117
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一种用于支持将载体玻璃片和超薄玻璃片剥离的工艺的设备。吸板包括限定用于吸住坐落于其上的玻璃层板的吸孔的多个吸孔部分,以及限定容纳从所述玻璃层板的超薄玻璃片的一个表面突出的至少一个装置层的至少一个凹陷的至少一个凹陷部分。多个吸杯分别配合至所述...
该专利属于康宁公司所有,仅供学习研究参考,未经过康宁公司授权不得商用。
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