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用于支持剥离的设备以及使用该设备的剥离方法技术

技术编号:40082117 阅读:27 留言:0更新日期:2024-01-23 14:53
一种用于支持将载体玻璃片和超薄玻璃片剥离的工艺的设备。吸板包括限定用于吸住坐落于其上的玻璃层板的吸孔的多个吸孔部分,以及限定容纳从所述玻璃层板的超薄玻璃片的一个表面突出的至少一个装置层的至少一个凹陷的至少一个凹陷部分。多个吸杯分别配合至所述多个吸孔部分,使得所述多个吸杯响应于所述超薄玻璃片与所述装置层的接触压力而可弹性压缩。真空泵连接至所述多个吸孔部分以将负压力施加至所述多个吸孔部分。控制器控制所述真空泵以调整施加至所述多个吸孔部分的所述负压力。

【技术实现步骤摘要】

本公开内容涉及一种用于支持剥离的设备以及一种使用该设备的剥离方法。更特别地,用于支持剥离的设备和使用该设备的剥离方法能可靠地支持将超薄玻璃片剥离的工艺,该超薄玻璃片具有从其一个表面突出的装置层和结合至该超薄玻璃片的另一表面的载体玻璃片,并且可共同地用于将超薄玻璃片剥离的工艺中,在所述超薄玻璃片中的每一者上提供具有不同厚度的装置层。


技术介绍

1、一般而言,归因于处置起来困难,超薄玻璃具有低适用性的缺点,这与其可用性无关。具有20μm至250μm的厚度的超薄玻璃片可易于受到刮擦,甚至在对其施加不显著冲击的情况中,并且这种刮擦可为超薄玻璃片的损坏或破坏的原因。在此方面,通常,将比超薄玻璃片硬且具有例如0.5mm或更大的厚度的薄玻璃片用作该超薄玻璃片结合至的背衬,并且将所得结构作为单一单元(薄片)处置。例如,在柔性有机发光二极管(flexible organiclight-emitting diode,oled)、发光二极管(light-emitting diode,led)标牌或类似者的制造中,通过沉积在此单元上制造装置层,并且最终执行将该超薄玻璃片从薄玻璃片本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于支持将结合为单一玻璃层板的载体玻璃和玻璃片剥离的工艺的设备,所述载体玻璃的厚度和宽度大于所述玻璃片并且所述载体玻璃在包围所述玻璃片的同时结合到所述玻璃片,所述设备包括:

2.如权利要求1所述的设备,其中所述凹陷部分比所述装置层的厚度深。

3.如权利要求1所述的设备,其中所述至少一个凹陷部分安置于所述吸板的其上坐落所述玻璃层板的表面上,并且

4.如权利要求1所述的设备,其中所述至少一个凹陷部分包括多个凹陷部分,所述多个凹陷部分安置于所述吸板的其上坐落所述玻璃层板的表面上,并且

5.如权利要求4所述的设备,其中所述吸板包括:

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【技术特征摘要】

1.一种用于支持将结合为单一玻璃层板的载体玻璃和玻璃片剥离的工艺的设备,所述载体玻璃的厚度和宽度大于所述玻璃片并且所述载体玻璃在包围所述玻璃片的同时结合到所述玻璃片,所述设备包括:

2.如权利要求1所述的设备,其中所述凹陷部分比所述装置层的厚度深。

3.如权利要求1所述的设备,其中所述至少一个凹陷部分安置于所述吸板的其上坐落所述玻璃层板的表面上,并且

4.如权利要求1所述的设备,其中所述至少一个凹陷部分包括多个凹陷部分,所述多个凹陷部分安置于所述吸板的其上坐落所述玻璃层板的表面上,并且

5.如权利要求4所述的设备,其中所述吸板包括:

6.如权利要求5所述的设备,其中所述吸板进一步包括分别安置于所述第一流动路径、所述第二流动路径和所述第三流动路径上的控制阀。

7.如权利要求6所述的设备,其中所述第一流动路径包括分别提供于所述多个凹陷部分中的多个第一流动路径,所述多个第一流动路径被单独地控制。

8.如权利要求1所述的设备,其中所述多个吸杯中的每一者包括:

9.如权利要求8所述的设备,其中所述固定部分的外周表面与所述对应的吸孔部分的所述内周表面螺钉接合。

10.如权利要求9所述的设备,其中所述操作部分包括波纹管。

11.如权利要求1所述的设备,其中所述玻璃层板被配置为使得相对比所述玻璃片厚和宽的载体玻璃结合至所述玻璃片,同时包围所述玻璃片。

12.如权利要求1所述的设备,进一步包括在所述玻璃层板坐落于所述吸板上后安置于所述玻璃层板的载体玻璃上的至少一个吸帽。

13.如权利要求12所述的设备,其中所述至少一个吸帽连接至由所述控制器控制的所述真空泵,以使用由所述真空泵施加的负压力吸住...

【专利技术属性】
技术研发人员:孔普敬李柱永
申请(专利权)人:康宁公司
类型:发明
国别省市:

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