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本申请适用于气氛测试技术领域，提供了器件内部低含量气氛测试装置和方法。该器件内部低含量气氛测试装置，测试腔体的侧壁上设置有进气阀和出气阀，底壁上设置有连通孔；定位基板设置在测试腔体的第一侧壁上，放置被测器件，被测器件位于测试腔体内部；推送机...
该专利属于中国电子科技集团公司第十三研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第十三研究所授权不得商用。

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