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本发明提供一种光栅位移测量装置，包括：光束发射单元，用于产生频率不同的第一光束和第二光束；光束整形单元，包括渥拉斯顿棱镜和非偏振分光棱镜；光栅；信号接收单元，包括第一探测器和第二探测器；第一光束和第二光束经渥拉斯顿棱镜入射至非偏振分光棱镜，...
该专利属于上海微电子装备（集团）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备（集团）股份有限公司授权不得商用。

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