下载玻璃基板减薄蚀刻液及其制备方法与应用的技术资料

文档序号:4007654

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本发明公开了提供一种玻璃基板减薄蚀刻液及其制备方法与应用。该蚀刻液,是由硝酸、乙二胺四乙酸、水和下述两种磺酸中的至少一种组成:甲基磺酸和三氟甲磺酸。所述硝酸、乙二胺四乙酸和所述磺酸中的至少一种占所述蚀刻液总重的百分比分别为:20-40%、0...
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