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本发明涉及晶圆检测技术领域，用于解决现有的瑕疵检测方法主要以视觉检测为主，存在着成本高、速度慢、准确性不高的问题，具体为一种晶圆检测瑕疵检测装置及方法，包括云服务器、数据采集单元、云数据库、表面区域划分单元、表面区域瑕疵检测单元、层间区域瑕...
该专利属于珠海诚锋电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过珠海诚锋电子科技有限公司授权不得商用。

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