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本发明提供了一种掩膜版载台及掩膜版对准方法，掩膜版载台包括：底座和连接于底座上方的掩膜承托组件，底座沿同一轴向分别形成接版位和工作位，掩膜承托组件包括驱动组件和承托台本体，驱动组件带动承托台本体在接版位和工作位之间往复运动；接版位上方设置第...
该专利属于新毅东（上海）科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过新毅东（上海）科技有限公司授权不得商用。

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