下载一种柔性图案化电子器件的制造方法的技术资料

文档序号:40074115

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本发明公开了一种柔性图案化电子器件的制造方法、终端及存储介质,方法包括:获取硅片,在所述硅片上沉积牺牲层以及功能层薄膜;通过光刻技术在所述硅片上制造功能层图案以及电极图案,并通过蒸镀技术在所述硅片上沉积电极层;在所述硅片表面旋涂液态PDMS...
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