下载约瑟夫森结制备方法及系统的技术资料

文档序号:40072419

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本申请关于一种约瑟夫森结制备方法及系统,涉及微纳加工技术领域。该方法包括:通过纳米压印的方式在基板上制备电路结构;电路结构包括第一引线、第二引线、以及外围电路;在基板上制备基于光刻胶的底切结构;底切结构为条形结构,第一区域和第二区域具有上层...
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