温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本技术提供了一种切割液喷淋装置及切割设备，属于晶棒加工技术领域，解决了现有技术中晶棒切割过程中，切割液无法全程覆盖切割区域的问题。本技术包括切割液槽和移动装置，通过设置移动装置带动切割液槽远离或靠近切割区域，使得切割液能够随切割区域的位置改...
该专利属于浙江晶盛机电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江晶盛机电股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。