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本公开提供了一种检测晶圆表面缺陷的方法、装置及介质。该方法包括：获取待测晶圆的覆盖层的消光系数和折射率；根据消光系数和折射率分别为DNO通道、DW1O通道以及DW2O通道构建对应的用于判定缺陷尺寸的第一校准曲线；针对待测晶圆被检出的亮点在D...
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