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本发明公开了一种ＥＣＲ等离子体溅射装置用基板保持器，包括原基板（３），与原基板（３）连接的固定轴（４），依次轴向设置在固定轴（４）上的支撑板（５）和用于连接真空腔的固定法兰（２），支撑板（５）和固定法兰（２）上贯穿有平行于固定轴（４）的传动...
该专利属于西安交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安交通大学授权不得商用。

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