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新型的法布里－珀罗传感器及其制作方法。用于检测液体、气体的相对压力和绝对压力，也可用于探测声波，超声波信号等。本结构主要由光纤、弹性膜片、传感器体和微型弹簧组成。可以采用两种方式及一种变通方法来形成法珀腔和制作传感器。弹性膜片与传感光纤通过...
该专利属于天津大学所有，仅供学习研究参考，未经过天津大学授权不得商用。

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