一种光纤法布里－珀罗压力传感器及其制作方法技术

新型的法布里－珀罗传感器及其制作方法。用于检测液体、气体的相对压力和绝对压力，也可用于探测声波，超声波信号等。本结构主要由光纤、弹性膜片、传感器体和微型弹簧组成。可以采用两种方式及一种变通方法来形成法珀腔和制作传感器。弹性膜片与传感光纤通过平面—球形的点接触方式紧密接触，当外界压力变化致使弹性膜片变形时，膜片会带动光纤在传感器体中轴向移动，从而改变了光纤法珀腔的长度，当接入宽带光源后，通过对通过光纤法布里－珀罗压力传感器中的光的光谱扫描或者低相干干涉条纹的提取，可提取出腔长变化，从而获取压力信息。本结构可以避免传统光纤法布里－珀罗传感器膜片变形不能过大的缺陷，可得到更高的测量精度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及 光纤压力传感器领域，该传感器可以用于检测液体、气体的相对压力 和绝对压力，也可用于声波，超声波信号等的探测。
技术介绍
光纤法布里-珀罗压力传感器是光纤压力传感器中的一种，它通常由光纤端面和 膜片端面构成法布里_珀罗微谐振腔，当压力作用在膜片上将使膜片变形，而使得法珀腔 长发生变化，从而实现传感。近年来提出了一些设计方案，如2001年Don C. Abeysinghe 等(DonC. Abeysinghe, Samhita Dasgupta, Joseph Τ. Boyd, Howard Ε. Jackson, A Novel MEMSpressure sensor fabricated on an optical fiber, IEEE Photonics Technology Letters, 2001,13(9) 993-995)在包层直径分别为200微米和400微米，芯径为190微米 和360微米的多模光纤端面刻蚀出微腔，然后在该端面键合上硅片构成传感器；2005年 Juncheng Xu 等(Juncheng Xu, Xingwei Wang, Krist本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光纤法布里－珀罗压力传感器，其特征在于该传感器包括：　　传感器体：光纤法布里－珀罗压力传感器体是传感器的支撑结构和光纤滑动时的引导结构，其形状为圆柱形或是长方体形，传感器体的中间开有一个通孔，通孔的一端开有一个凹坑；　　弹性膜片：用来感受压力的变化，放置于传感器体的凹坑中并固定；　　传感光纤：传感光纤的一端为法布里－珀罗腔所需的反射面，另一端为球形，该传感光纤放置于传感器体中间的通孔内，球形一端与弹性膜片紧密接触；　　传输光纤：该光纤放置于传感器体中间通孔内的另一端，用来提供法布里－珀罗腔所需的另一反射面，与传感光纤的光纤端面不接触以构成法布里－珀罗腔；　　微型弹簧：放置于传感光纤与传输光...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘铁根，江俊峰，刘琨，刘宇，姜丽娟，
申请(专利权)人：天津大学，
类型：发明
国别省市：12[中国|天津]