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本发明涉及电子产品制造技术领域，具体涉及一种加工设备的补偿校准方法。本发明旨在解决现有倒角机的取料装置转移的晶圆可能会出现较大偏差的问题。为此，本发明的加工设备包括取料装置、检测装置和定位装置，补偿校准方法包括：将晶圆放到定位装置上进行定位...
该专利属于青岛高测科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过青岛高测科技股份有限公司授权不得商用。

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