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本发明实施例提供了一种硅片生成装置、硅片生成方法及硅片，硅片生成装置包括：激光器、激光加工头、工作平台、定位平台以及分离机构，激光加工头内设有光学模组，光学模组包括数字微镜器件和聚焦物镜，所述定位平台用于固定硅锭，定位平台连接于所述工作平台...
该专利属于隆基绿能科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过隆基绿能科技股份有限公司授权不得商用。

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