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本申请涉及一种芯片空洞的检测方法、装置、设备、存储介质和程序产品。该方法包括：对目标芯片图像中的空洞和芯片进行识别，得到空洞信息和芯片信息；根据空洞信息和芯片信息，对目标芯片图像内的芯片进行空洞检测，得到检测结果；检测结果用于表征芯片是否合...该专利属于中国电子产品可靠性与环境试验研究所（（工业和信息化部电子第五研究所）（中国赛宝实验室））所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子产品可靠性与环境试验研究所（（工业和信息化部电子第五研究所）（中国赛宝实验室））授权不得商用。