下载具有加热罩的真空蒸镀装置的技术资料

文档序号:4006503

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本实用新型是有关于一种具有加热罩的真空蒸镀装置,包括:本体;蒸发源;镀锅;以及加热罩,其中本体具有真空腔室,而真空腔室内由下而上设置有蒸发源、石英灯、镀锅及加热罩。其中加热罩覆盖在镀锅上方,以确保蒸镀材在蒸镀过程中拥有足够的能量,进而使蒸镀...
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